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综合报道

清华大学宣布新成果首台国产芯片关键设备量产

当前的信息时代,芯片是所有电子设备的基础。有数据统计,我国最近三年的芯片进口金额均超过3000亿美元,是我国第一大宗进口商品。我们对进口芯片的依赖,远超第二大宗商品石油。

就当前我国芯片产业的现状来看,在芯片设计领域我国处于世界一流水平,拥有华为海思、紫光展锐等一批世界级的芯片设计企业。如今的芯片制造设备市场基本被国外企业所把持,比如荷兰的ASML、日本的尼康和佳能、美国的应用材料、科林和泛林集团等。

据了解,清华大学宣布路新春教授团队的新成果:由华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产出货,已经向国内某芯片制造龙头企业供货。

一条完整的芯片生产线需要100多种设备的同时协作,光刻机只是前道工序中的关键设备。而12英寸超精密晶圆减薄机同样是芯片制造和封装领域的关键设备。在清华大学路新春团队的努力下,华海清科终于研发出的12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300。

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